Dual Beam Focused Ion Beam / Scanning Electron Microscope (FIB/SEM)
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Dual Beam Focused Ion Beam / Scanning Electron Microscope (FIB/SEM)
Dual beam focused ion beam/scanning electron microscope (FESEM). Focused ion beam using Ga atoms allows the patterning of objects at ~10 nm
2016年6月8日
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